微量氧分析儀的原理有化學電池法、原電池法、燃料電池法、赫茲電池法和濃差電池法。可用于空分制氮行業、化工流程、磁性材料等高溫燒結爐保護性氣體、電子行業保護性氣體以及冶金、玻璃、建材行業的氧含量在線分析。
微量氧分析儀選用進口燃料電池傳感器，具有壽命長、精度高、響應快等特點。用于高純氫氣等還原性氣體中微量氧的測量，采用大屏幕點陣LCD液晶顯示。溫度自動補償，消除環境溫度的影響，上下限控制點可在全量程范圍內任意設置。
在進行微量氧分析時，由于空氣中氧含量高，故而如果處理不當極易造成對樣品的污染和干擾，出現分析結果數據不正常，一些因素可能會影響微量氧分析儀的測量使用，比如：
1.背景氣干擾
如燃料電池式分析儀，不同的主背景氣（與背景氣的摩爾質量有關），會影響分析結果。并且少量的氫氣也會對分析結果產生較大的影響。對于樣氣中含有微量酸性氣體的情況，只有特殊型式的赫茲電池式氧分析儀才能排除于擾，防止傳感器中毒，給出正確分析數據。其他燃料電池式氧分析儀均不能用于酸性氣體分析。
2.干擾雜質影響
干擾雜質主要指除背景氣和待測組分外存在的少量未知雜質，如燃料電池式微氧儀對酸性、氧化性氣體敏感，如果氣體中含有酸性氣體成分，如CO2，H2S，HCl，HCN等，則燃料池傳感器易中毒失效。而微量的還原性氣體對氧化鋯式微氧儀的分析結果產生影響，近又發現微量的N2O對氧化鋯式微量氧分析儀產生影響，所以在檢測時要充分考慮到雜質的存在，選擇恰當的分析儀，才能得到準確的結果。
